振镜作为激光调阻机最重要的核心部件之一,其精度、温漂、线性度直接影响调阻机的性能,尤其在薄膜调阻、小尺寸厚膜调阻、高精度调阻方面对振镜的要求越来越高,PSI作为主要的调阻机振镜供应商专门开发了两个系列的调阻机振镜(RT、A-RT)对应不同的调阻需求。

 

 

PSI的优势:

RT系列高速振镜,直线度≤±1.5um,线间距精度≤±1.5um,线性度≥99.9%,长时间温漂≤35urad,该系列产品在保证以上指标的前提下速度达到当前业界最高。

A-RT系列高精度振镜,直线度≤±0.5um,线间距精度≤±1um,线性度≥99.9%,长时间温漂≤35urad,该系列产品是目前业界精度最高的振镜之一,PSI也是目前业界唯一能够批量生产该精度振镜的厂商。

 

 

PSI推荐型号:

PSH14RTPSH14A-RT