PSI动态轴可与二维振镜组合成三维扫描系统,满足各种高精密曲面打标,深雕和大幅面标刻等应用。
• 体积小,结构紧凑便于集成
• 响应速度快,分辨率高(0.3μm)
• 采用音圈电机直驱方式,消除机械连接间隙