PSH14ART 用在极高精度要求的激光加工应用当中，它适用于直线弯曲度小于±0.5μm，线间距误差小于±1μm，如高精度的激光调阻等应用。
PSH14ART 产品具有极高的定位精度，极高的直线度和极低的温漂。
PSH14A-RT | 参数 | |
最大可承受的平均激光功率(1) | 100 W | |
入光孔径 | 14 mm | |
典型扫描角度(2) | ± 10° | |
跟踪误差 | ≤0.4 ms | |
阶跃响应时间(满幅的1%) | ≤1 ms | |
速度 | ||
定位/跳转(3) | ＜10 m/s | |
直线扫描(3) | ＜10 m/s | |
矢量扫描(4) | ＜1.2 m/s | |
每秒钟字符数(3)(5) | 300 cps | |
精度 | ||
线性度 | 99.9 % | |
重复定位精度 | 2 μrad | |
温度漂移 | ||
零点漂移(μrad/℃) | 15 | |
比例漂移(μrad/℃) | 15 | |
长期漂移(30mi预热）(5) | ||
超8小时长期零点漂移(μrad) | 25 | |
超8小时长期比例漂移(μrad) | 40 | |
工作温度范围 | 25 ℃ ± 10 ℃ | |
信号接口 | 模拟:± 10 V 或 ± 5 V | |
数字:XY2-100或PRS422 | ||
输入电源要求(DC) | ± 15 V @ 5 A Max RMS | |
体积 | 107.5mm×156mm×119.5mm | |
注：
(1)对于激光波长在532 nm。
(2) 所有角度均为机械角。
(3) 在 F=163mm 场镜下的数值。根据场镜焦距的不同，速度也会对应的改变。
(4) 重复定位精度和温度漂移的数值是在此速度下测量得出。
(5) 单个字符字高1mm。