PSH14为输入光斑14㎜的高精度激光扫描加工而设计，，尤为适用于对产品性能要求较高的场景，如精密打标、熔覆、激光雕刻、半导体工业材料加工、微结构、飞行加工、增材制造（3D打印）、激光切割等。
▌特点
▪ 体积小，结构紧凑。
▪ 响应速度高、定位精度高、极低的温漂。
▪ 可靠性高，可长期稳定运行。
PSH14 | 参数 | |
最大可承受的平均激光功率(1) | 500 W | |
入光孔径 | 14 mm | |
典型扫描角度(2) | ± 10° | |
跟踪误差 | ≤0.15 ms | |
阶跃响应时间(满幅的1%) | ≤0.36 ms | |
速度 | ||
定位/跳转(3) | ＜20 m/s | |
直线扫描(3) | ＜20 m/s | |
矢量扫描(4) | ＜3 m/s | |
每秒钟字符数(3)(5) | 700 cps | |
精度 | ||
线性度 | 99.9 % | |
重复定位精度 | 2 μrad | |
温度漂移 | ||
零点漂移(μrad/℃) | 20 | |
比例漂移(μrad/℃) | 20 | |
长期漂移(30mi预热)(6) | ||
超8小时长期零点漂移(μrad) | 40 | |
超8小时长期比例漂移(μrad) | 80 | |
工作温度范围 | 25 ℃ ± 10 ℃ | |
信号接口 | 模拟:± 10 V 或 ± 5 V | |
数字:XY2-100或PRS422 | ||
输入电源要求(DC) | ± 15 V @ 5 A Max RMS | |
体积 | 156mm x 107.5mm x 119.5mm | |
注：
(1)对于激光波长在1030-1090 nm。
(2) 所有角度均为机械角。
(3) 在 F=163mm 场镜下的数值。根据场镜焦距的不同，速度也会对应的改变。
(4) 重复定位精度和温度漂移的数值是在此速度下测量得出。
(5) 单个字符字高1mm。