PSH10A专为对扫描要求极高的激光加工应用而设计，广泛应用于各种应用场景，如半导体行业中的材料加工、多头拼接加工、微结构加工、钻孔、 高速激光清洗、飞行加工、划线、太阳能行业应用等。 该产品在具备广泛适配性之外，达到了最高精度、最高速度、最低温度漂移和出色的长期工作可靠性。
PSH10A | 参数 | |
最大可承受的平均激光功率(1) | 300 W | |
入光孔径 | 10 mm | |
典型扫描角度(2) | ± 10° | |
跟踪误差 | ≤0.11 ms | |
阶跃响应时间(满幅的1%) | ≤0.26 ms | |
速度 | ||
定位/跳转(3) | ＜30 m/s | |
直线扫描(3) | ＜30 m/s | |
矢量扫描(4) | ＜3.5 m/s | |
每秒钟字符数(3)(5) | 1000 cps | |
精度 | ||
线性度 | 99.9 % | |
重复定位精度 | 2 μrad | |
温度漂移 | ||
零点漂移(μrad/℃) | 15 | |
比例漂移(μrad/℃) | 15 | |
长期漂移(30mi预热）(5) | ||
超8小时长期零点漂移(μrad) | 25 | |
超8小时长期比例漂移(μrad) | 40 | |
工作温度范围 | 25 ℃ ± 10 ℃ | |
信号接口 | 模拟:± 10 V 或 ± 5 V | |
数字:XY2-100或PRS422 | ||
输入电源要求(DC) | ± 15 V @ 5 A Max RMS | |
体积 | 115mm×151.5mm×110mm | |
注:
(1)对于激光波长在1030-1090 nm。
(2) 所有角度均为机械角。
(3) 在 F=163mm 场镜下的数值。根据场镜焦距的不同，速度也会对应的改变。
(4) 重复定位精度和温度漂移的数值是在此速度下测量得出。
(5) 单个字符字高1mm。